技術(shù)文章
Technical articles
真空度顯示:顯示腔體內部的真空度數值
運行程序段:分為3個(gè)步驟,綠色表示運行狀態(tài)
①真空泵啟動(dòng)②射頻電源打開(kāi)③放氣
進(jìn)氣流量顯示:通過(guò)調節A、B流量調節閥調節氣體進(jìn)入腔體的大小,在兩個(gè)圖標顯示,上部顯示為A流量,下部顯示為B流量
時(shí)間:顯示設備清洗時(shí)間
功率:顯示當前設備清洗是清洗功率
設備溫度:顯示當前射頻電源設備溫度
放氣狀態(tài):顯示當前放氣閥開(kāi)啟或關(guān)閉狀態(tài)
清洗時(shí)間:點(diǎn)擊可設置設備運行清洗時(shí)間
清洗功率:點(diǎn)擊可設置設備運行清洗功率
開(kāi)始運行:點(diǎn)擊可切換設備開(kāi)始運行或者停止運行
參數設置:非專(zhuān)業(yè)人士請勿調節,如有需要請聯(lián)系廠(chǎng)家人員
射頻電源開(kāi)關(guān):按下產(chǎn)品前面板左邊的電源按鈕 此時(shí)產(chǎn)品通電啟動(dòng) 液晶顯示屏點(diǎn)亮, 顯示啟動(dòng)界面 2 秒,然后進(jìn)入相應工作狀態(tài)顯示界面。在按一下則關(guān)閉射頻電源。
功率調節旋鈕:射頻功率調節,通過(guò)旋轉前面板上的功率設置旋鈕來(lái)增加或減小功率水平(順時(shí)針 旋轉為增加功率,逆時(shí)針旋轉為減小功率)。
射頻輸出的開(kāi)啟和關(guān)閉:按下前面板上的射頻輸出 開(kāi)【藍色按鈕】 打開(kāi)射頻輸出,同時(shí)定時(shí)器開(kāi)始倒計時(shí); 按下射頻輸出 關(guān)【紅色按鈕】 關(guān)閉射頻輸出。
調節功率設置旋鈕:顯示內容“Wf"前的數值會(huì )發(fā)生相應的變化,此 時(shí)的數值為功率設定值;當按下射頻輸出 開(kāi)【藍色按鈕】開(kāi)啟射頻時(shí),“RF OFF"將變成“Wr",Wf 前的數值也會(huì )從 0 上升,當然 Wr 前的數值也會(huì )根據負載情況發(fā)生相應的變化,如果射頻電源的后端負載為 50 歐時(shí),Wr 前的數值將為 0,即此時(shí)射頻輸出無(wú)反射功率;否則,Wr 前數值將根據負載情況顯示相應的反射功率值。
手動(dòng)匹配器:通過(guò)調節前面板上的【MATCH】控制區的【TUNE】和【LOAD】旋鈕實(shí)現匹配器的手 動(dòng)匹配,反射功率減低到 0W。
【MATCH】控制 【最大反射】指示 【手動(dòng)匹配】指示
手動(dòng)調節【TUNE】和【LOAD】旋鈕 調節【TUNE】旋鈕,如果 Wf 數值增加,證明調節的百分比方向正確,否則往相反的方向調節;到 Wf 數值到達設置最大值,通過(guò)微調兩個(gè)旋鈕,實(shí)現 Wr 數值減低; b.調節【LOAD】旋鈕的方法同理。(通過(guò)兩個(gè)旋鈕調節觀(guān)察Wf值根據旋鈕調節變大 Wr值根據旋鈕調節變小)
2、軟件語(yǔ)言選擇
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