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產(chǎn)品中心

Product Center

PECVD射頻模塊

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PECVD射頻模塊通過(guò)反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統CVD系統比較,生長(cháng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

產(chǎn)品型號:KT-PE500Z
更新時(shí)間:2023-12-15
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1345

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應用領(lǐng)域電子

     KT-PE500ZPECVD射頻模塊是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應,從而實(shí)現薄膜材料生長(cháng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統CVD系統比較,生長(cháng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

PECVD射頻模塊產(chǎn)品參數:

型號

KT-PE150S

KT-PE500Z

信號頻率

13.56MHz±0.005%


功率輸出范圍

0-150W

0-500W

功率穩定度

≤5W


大反射功率

40W


射頻輸出接口

7/16,female  50 Ω


功率穩定度

≤5W


匹配方式

手動(dòng)調節匹配

500W自動(dòng)匹配

耦合方式

電感式耦合


輝光壓力

≤30Pa


供電電壓

50/60Hz 220v±10%


整機效率

≥70%


冷卻方式

強制風(fēng)冷


支持爐管直徑

φ25-φ80

φ25-φ150

感應區

210mm


整機重量

48KG


整機尺寸:H x W x D(mm)

600 x 600x 1100


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