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產(chǎn)品中心

Product Center

小型真空探針臺

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型真空探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2023-12-18
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1352
品牌鄭科探

    小型真空探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

  小型真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-13mm;z方向調節范圍:0-13mm;用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀(guān)察,使探針對準檢測點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測。

實(shí)驗腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開(kāi)啟

鉸鏈側開(kāi)

內腔體尺寸

φ140x180

加熱臺材質(zhì)

304不銹鋼

觀(guān)察窗尺寸

φ75

加熱臺尺寸

50x50

加熱臺溫度

室溫-350℃可調

加熱臺溫控誤差

±1

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

進(jìn)氣閥門(mén)

高精密針閥

抽氣閥門(mén)

KF25真空擋板閥

壓力表

機械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號電極

4個(gè)

探針數量

4個(gè)

探針材質(zhì)

φ1.5鎢針   其他材質(zhì)可選

探針移動(dòng)平臺

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.1MM

Y軸移動(dòng)行程

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM

Z軸移動(dòng)行程

13mm   ±6.5mm

Z軸控制精度

≤0.05MM

信號電極

電極芯

1

電極引出接頭

BNC母頭

電極引出線(xiàn)

銅網(wǎng)信號屏蔽線(xiàn)

BNC引出接頭

X4

額定電流

≤5A

額定電壓

≤220V

電極芯直徑

φ1mm

接觸電阻

≤5MΩ

絕緣電阻

≥1000 MΩ

外殼接地

電子顯微鏡

電子顯微鏡根據客戶(hù)需要配置不同倍率 請和客服溝通



做氣體傳感器的客戶(hù)可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統


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