氣敏測試真空探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

      該氣敏測試真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對準檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測。

1、測試腔、控溫及加熱系統

測試夾具要求：可實(shí)現XYZ移動(dòng)；

測試腔：同時(shí)滿(mǎn)足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數：同時(shí)測試8個(gè)樣品，可進(jìn)行頻率-阻抗測試、插指電極和場(chǎng)效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類(lèi)型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

     鄭州科探儀器設備有限公司是集開(kāi)發(fā)、制造、經(jīng)營(yíng)為一體的材料設備創(chuàng )新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內大多數國家重點(diǎn)實(shí)驗室 及科學(xué)院校，科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)歡迎和信任的品牌之一。   公司以科技創(chuàng )新為主，服務(wù)社會(huì )為宗旨，積極設計開(kāi)發(fā)新型材料制備設備，奉獻于教育和科學(xué)，經(jīng)過(guò)長(cháng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)10余項，為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設備。公司通過(guò)和院校老師 同學(xué)強強聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺，為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強有力的支持！

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